三栄技研株式会社

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冷却水循環装置でお客様の装置をサポートします。

製品案内「冷却水循環装置」

三栄技研が製作する冷却水循環装置のご紹介
水冷式 ▶空冷式 ▶半導体/一般産業向け ▶ブライン低高温循環装置

冷却水循環装置 【水冷式】

高性能&小型・軽量化

凝縮器、水冷却器など構成機器類をコンパクトにまとめ、高性能でありながら小型、軽量化を実現。 豊富なラインアップがあり、幅広い用途に対応できます。 
冷却能力 0.2kwから400kw。
用途:一般、分析機器用

※一次冷却水として工業用水またはクーリングタワーが必要となります。
 あらかじめ設置場所等の条件を考慮の上、ご御検討ください。

※インバーター冷凍機やデジタルスクロール冷凍機を搭載した省エネタイプもあります。


水冷式 配管フロー 水冷式 配管フロー


冷却水循環装置 【空冷式】

保守管理がシンプル

冷却水が得にくい場合や、冷却水の水質が悪い場合に最適です。クーリングタワーや冷却水の配管などの設備が不要。(循環水側のみ工事) 保守の手間がかからず維持・管理が容易です。
冷却能力 0.2kwから300kw。
用途:一般、分析機器用

※インバーター冷凍機又はデジタルスクロール冷凍機を搭載した省エネタイプもあります。

空冷式 配管フロー 空冷式 配管フロー



半導体/一般産業用 冷却水循環装置

純水・超精密安定水温仕様にも対応

半導体製造機器の冷却水循環装置は 純水仕様が多く使用されています。
三栄技研の純水仕様 冷却水循環装置は、イオン交換樹脂内蔵・純度監視計装備に対応し、 温度範囲 -65℃~+150℃で任意にプログラム可変。
比抵抗範囲 1MΩ~10MΩで通常保持が可能。


これまでに、エッチャー(エッチング装置)、CVD装置、イオン注入機、レーザー応用機器、EBX装置などへのご採用実績が多数あります。
上記のほか、大出力レーザー発生装置、高周波発生装置、加速器系冷却装置などへ対応する冷却水循環装置のシステム開発も行なっています。 長年にわたり蓄積してきた技術ノウハウを最大限に生かした設計・製作をしています。
冷却水循環装置のご相談は、どうぞ三栄技研までお問い合わせください。

● 水ー水方式 純水冷却水循環装置
● 低温域~高温域対応 冷却加熱循環装置
  フロリナート・ガルデン・シリコンオイル・ナイブライン使用
● 超精密安定水温 冷却水循環装置
  水温安定度 0.1℃~0.001℃で制御
● 製作可能冷却能力
  空冷一体型300KW、水冷一体型400KWまでの冷却水循環装置



ブライン低高温循環装置

最適のシステム設計とローコストを追求

ブライン低高温循環装置は、冷却加熱サイクル用として化学業界や電子部品業界で使用されています。 
※写真:ブライン低高温循環装置 工場内テスト風景
 -25℃~+55℃ 冷却能力37KW(-20℃にて)


省エネ仕様
●スクロール形マルチ冷凍機(空冷式/水冷式)の搭載により省エネルギー運転が可能。

対応可能なブライン液
●ナイブライン・PEG・ガルデン・シリコンオイル・フロリナート・アルコールなど。 お客様ニーズに適合するブライン液にて、熱交換効率を設計し対応いたします。

採用例
●航空宇宙産業の部品耐久テストチャンバー
●半導体関連
●燃料電池関係の研究開発用


三栄技研では、お客様のご要求に適合する最適なシステム設計とローコストを追求し、製作いたします。 温度範囲-65℃~+150℃は対応が可能です。
流量、圧力、負荷温度精度など、どうぞお問い合わせください。



製作案内


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